W. Zhang — Measurement Technology for Micro-Nanometer Devices (2016)

1.370 

Автор: W. Zhang
Название книги: Measurement Technology for Micro-Nanometer Devices
Формат: PDF
Жанр: Приборостроение
Страницы: 338
Качество: Изначально компьютерное, E-book

A fully comprehensive examination of state-of-the-art technologies for measurement at the small scale:
Highlights the advanced research work from industry and academia in micro-nano devices test technology
Written at both introductory and advanced levels, provides the fundamentals and theories
Focuses on the measurement techniques for characterizing MEMS/NEMS devices
Companion website includes Lab View soft, micro-vision system test software, and algorithm software, enhancing the learning experience.
Table of Contents
About the Authors
Preface
Introduction
Geometry Measurements at the Micro/Nanoscale
Dynamic Measurements at the Micro/Nanoscale
Mechanical Characteristics Measurements
SPM for MEMS/NEMS Measurements
MEMS Online Measurements
Typical Micro/Nanoscale Device Measurements
Index

Описание

W. Zhang — Measurement Technology for Micro-Nanometer Devices (2016) — книга, посвящённая современным методам измерения параметров микро- и наноустройств. Автор подробно рассматривает принципы, оборудование и технологии, которые позволяют проводить точные измерения в масштабах микрон и нанометров.

Издание охватывает ключевые аспекты метрологии в микроэлектронике, нанотехнологиях и MEMS/NEMS-системах: от оптических и электрических методов до сканирующей зондовой микроскопии и интерферометрии. Особое внимание уделяется проблемам точности, калибровки и влиянию внешних факторов на результаты измерений.

  • Инженерам и разработчикам микроэлектронных и нанотехнических устройств
  • Специалистам в области метрологии и контроля качества наноэлектроники
  • Научным сотрудникам и аспирантам, работающим с MEMS, сенсорами и наноматериалами
  • Студентам старших курсов и преподавателям профильных технических вузов

Отзывы

Отзывов пока нет.

Только зарегистрированные клиенты, купившие данный товар, могут публиковать отзывы.